壓阻式壓力變送器的原理

壓阻式壓力變送器 

 單晶硅壓力/差壓變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力，然后將其轉變成4~20mA，Hart電流信號輸出，也可與HART-375或BST，Modem相互通信，通過他們進行參數設定、過程控制。與傳統電接點壓力表的區別在于它使用的是納米單晶硅作為傳感器材料。 傳感器模塊采用全焊接技術，內部擁有一個整體化的過載膜片，一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化，從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。   

單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理 

 壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻。并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。 當壓力發生變化時，單晶硅產生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。